仪器型号:JXA8230
生产厂家:日本电子(JEOL)
主要部件:电子探针、X射线波谱仪(3通道)、真空喷镀仪
主要技术指标:
检测元素范围:5B ~92U;
加速电压:0.2~30kV,束流电流范围:10-12 ~10-5 A;
图像理想分析率:二次电子像:6nm,背散射电子像:≤ 20nm(15keV);
分光晶体:TAP、LDE2、LIF、PET,PETH、LIFH;
放大倍率:40×~300,000×。
应用领域:地质科学和材料科学等
分析内容:①分析测试:微区定性分析、半定量分析、定量分析、元素线扫描和面扫描;
②图像观测:二次电子(SEI)图像、成分(COMPO)图像、拓扑(TOPO)图像